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Halbleiter - Technologie

Name: Halbleiter - Technologie
Author: Beneking, Heinz

Beneking, Heinz

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Kurzinformation

Sprache:

Deutsch

ISBN:

9783519061335

Verlag:

Vieweg+Teubner Verlag

Seitenzahl:

Auflage:

1991

Erschienen:

1991

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Beschreibung

Halbleiter - Technologie

Eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen

Inhalt:Teil I Verfahrensschritte: Grundmaterialien und ihre Herstellung - Grundmaterial-Eigenschaften und Analytik - Epitaxie-Verfahren - Dotierungsverfahren - Abscheideverfahren - Lithographie - Ätz- und Trennverfahren - Teil II Bauelemente: Bauelement - spezifische Arbeitsschritte - Reale Strukturen und Intigration - Dioden - Bipolartransistoren - Feldeffekttransistoren - Optoelektronische Bauelemente - Qualitätssicherung, unkonventionelle Bauelemente und Ausblick Prof. Dr. rer. nat. Heinz Beneking (i.R.), Leiter am Institut für Halbleitertechnologie, RWTH Aachen von Beneking, Heinz