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- Hardcover -
- Erschienen 1991
- Vieweg+Teubner Verlag
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Inhalt:Teil I Verfahrensschritte: Grundmaterialien und ihre Herstellung - Grundmaterial-Eigenschaften und Analytik - Epitaxie-Verfahren - Dotierungsverfahren - Abscheideverfahren - Lithographie - Ätz- und Trennverfahren - Teil II...
9,81 €