Halbleiter-Technologie: Eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen

Das Buch "Halbleiter-Technologie: Eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen" von Heinz Beneking bietet eine umfassende und detaillierte Einführung in das Fachgebiet der Halbleitertechnologie. Es konzentriert sich auf die Prozess-Technologie von Silizium und den sogenannten III-V-Verbindungen, die für die Herstellung von elektronischen und optoelektronischen Bauelementen wichtig sind. Das Buch behandelt sowohl Grundlagen als auch fortgeschrittene Techniken und Konzepte, wie zum Beispiel Waferherstellung, Epitaxie, Lithographie, Ätzen, Dotieren und Metallisierung. Es ist sowohl für Studierende als auch für Ingenieure in der Praxis geeignet, die ihr Wissen über moderne Halbleitertechnologien erweitern möchten.