CMOS-MEMS (Advanced Mirco & Nanosystems)
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Beschreibung
Das Buch "CMOS-MEMS" von Osamu Tabata ist Teil der Reihe "Advanced Micro & Nanosystems" und bietet einen umfassenden Überblick über die Integration von CMOS-Technologie (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) mit MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Diese Kombination ermöglicht die Entwicklung fortschrittlicher Mikrosysteme, die sowohl elektronische als auch mechanische Komponenten auf einem einzigen Chip vereinen. Das Buch behandelt grundlegende Prinzipien, Designstrategien und Herstellungsverfahren für CMOS-MEMS-Technologien. Es beleuchtet verschiedene Anwendungen in Bereichen wie Sensorik, Aktorik und Signalverarbeitung. Zudem werden Herausforderungen bei der Integration dieser Technologien sowie mögliche Lösungsansätze diskutiert. Durch Beiträge von Experten auf diesem Gebiet bietet das Werk wertvolle Einblicke für Ingenieure, Forscher und Studierende, die sich mit der Entwicklung moderner Mikrosysteme beschäftigen.
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