Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)

Name: Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)
Price: 85.00 EUR
Availability: InStock
Author: Tabata, Osamu und Tsuchiya, Toshiyuki
ISBN: 3527335013

Tabata, Osamu und Tsuchiya, Toshiyuki

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Wiley-VCH

Kurzinformation

Sprache:

Englisch

ISBN:

3527335013

Verlag:

Wiley-VCH

Seitenzahl:

303

Auflage:

Erschienen:

2013-04-17

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Beschreibung

Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)

Testing of Materials and Devices

Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)

Produktdetails

Einband:

Kartoniert

Seitenzahl:

303

Erschienen:

2013-04-17

Sprache:

Englisch

EAN:

9783527335015

ISBN:

3527335013

Verlag:

Wiley-VCH

Gewicht:

643 g

Auflage:

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Über den Autor

Tabata, Osamu und Tsuchiya, Toshiyuki

Osamu Tabata is Professor in the Department of Microengineering at Kyoto University. He received his MSc and PhD degrees from Nagoya Institute of Technology. From 1981 to 1996, he performed industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi, Japan. He joined the Department of Mechanical Engineering of Ritsumeikan University in Shiga, Japan, in 1996, and the Department of Mechanical Engineering at Kyoto University in 2003. Osamu Tabata is engaged in the research of micro/nano processes, MEMS and micro/nano system synthetic engineering. He received numerous awards, including the Science News Award and the Research & Development Top 100 Award in 1993 and 1998. Toshiyuki Tsuchiya is Assistant Professor in the Department of Microengineering at Kyoto University. He received his PhD from Nagoya University, Japan, in 2002. From 1993 to 2004, he carried out industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi, Japan. In 2004, he joined the Department of Mechanical Engineering of Kyoto University. Toshiyuki Tsuchiya's current research is focused on mechanical properties evaluation of micro/nano materials and MEMS and micro/nano system synthetic engineering.