Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen (Mikroelektronik)
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Beschreibung
"Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte MOS-Schaltungen (Mikroelektronik)" von Strycharczyk F. Z, B. ist ein Fachbuch, das sich mit den technologischen Prozessen zur Herstellung integrierter MOS-Schaltungen befasst. Es bietet einen umfassenden Überblick über die verschiedenen Fertigungsverfahren in der Mikroelektronik, insbesondere für Metall-Oxid-Halbleiter (MOS) Technologien. Das Buch behandelt Themen wie Lithografie, Ätzverfahren, Dotierungsprozesse und Dünnschichttechnologien und erklärt die physikalischen und chemischen Grundlagen dieser Verfahren. Zudem wird auf aktuelle Entwicklungen und Herausforderungen in der Halbleiterproduktion eingegangen. Zielgruppe sind Ingenieure, Wissenschaftler und Studierende im Bereich der Elektrotechnik und Mikroelektronik, die ein tieferes Verständnis der Prozessabläufe bei der Herstellung moderner integrierter Schaltkreise erlangen möchten.
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