"Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices" von Jan G. Korvink ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Zuverlässigkeit von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) befasst. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and...

"LIGA and its Applications" von Osamu Tabata ist ein umfassendes Werk, das sich mit der LIGA-Technologie und ihren vielfältigen Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie befasst. LIGA steht für Lithographie, Galvanoformung und...

"Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications" von Osamu Tabata ist ein umfassendes Werk, das sich mit den Grundlagen und Anwendungen der Mikroprozess-Technologie befasst. Das Buch ist Teil der Reihe...