"Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices" von Jan G. Korvink ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Zuverlässigkeit von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) befasst. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and...

"LIGA and its Applications" von Osamu Tabata ist ein umfassendes Werk, das sich mit der LIGA-Technologie und ihren vielfältigen Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie befasst. LIGA steht für Lithographie, Galvanoformung und...

"Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications" von Osamu Tabata ist ein umfassendes Werk, das sich mit den Grundlagen und Anwendungen der Mikroprozess-Technologie befasst. Das Buch ist Teil der Reihe...

Das Buch "CMOS-MEMS" von Osamu Tabata ist Teil der Reihe "Advanced Micro & Nanosystems" und bietet einen umfassenden Überblick über die Integration von CMOS-Technologie (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) mit MEMS...

"Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems" von Osamu Tabata ist ein umfassendes Werk, das sich mit den technologischen Fortschritten und Anwendungen im Bereich der Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme...