"LIGA and its Applications" von Osamu Tabata ist ein umfassendes Werk, das sich mit der LIGA-Technologie und ihren vielfältigen Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie befasst. LIGA steht für Lithographie, Galvanoformung und...

This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS...