Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications (Advanced Micro and Nanosystems, 5, Band 5)
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Beschreibung
"Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications" von Osamu Tabata ist ein umfassendes Werk, das sich mit den Grundlagen und Anwendungen der Mikroprozess-Technologie befasst. Das Buch ist Teil der Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und bietet einen detaillierten Einblick in die Prinzipien und Techniken der Mikroprozessentwicklung. Es behandelt die wesentlichen Aspekte der Mikroprozess-Ingenieurwissenschaften, einschließlich der physikalischen und chemischen Grundlagen, die für das Verständnis von Mikroprozessen erforderlich sind. Zudem werden verschiedene mikrofluidische Geräte und deren Herstellungsverfahren vorgestellt. Der Autor geht auf moderne Fertigungstechniken ein, die zur Herstellung von Mikrosystemen verwendet werden, und beleuchtet deren praktische Anwendungen in verschiedenen Industriebereichen wie Chemie, Biotechnologie und Materialwissenschaften. Besonderer Wert wird auf die Integration von Mikroprozessen in bestehende Systeme gelegt sowie auf die Herausforderungen bei deren Implementierung. Das Buch richtet sich an Forscher, Ingenieure und Studierende im Bereich der Mikrosystemtechnik und bietet sowohl theoretisches Wissen als auch praxisnahe Einblicke in aktuelle Entwicklungen der Technologie.
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