Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization: The Science of Miniaturization, Second Edition
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Beschreibung
"Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, Second Edition" von Marc J. Madou ist ein umfassendes Werk, das sich mit den Prinzipien und Techniken der Mikro- und Nanofabrikation befasst. Das Buch bietet einen detaillierten Überblick über die grundlegenden Prozesse zur Herstellung von miniaturisierten Strukturen und Geräten, die in verschiedenen High-Tech-Bereichen wie der Elektronik, Biomedizin und Materialwissenschaft Anwendung finden. Die zweite Auflage erweitert das ursprüngliche Werk durch aktualisierte Inhalte, die neue Technologien und Fortschritte in der Mikrostrukturtechnik abdecken. Es behandelt Themen wie Lithografie, Dünnschichttechnologien, Ätzverfahren und andere wichtige Fertigungstechniken. Darüber hinaus wird auf die physikalischen und chemischen Grundlagen eingegangen, die diesen Prozessen zugrunde liegen. Madous Buch ist sowohl als Lehrbuch für Studenten als auch als Nachschlagewerk für Fachleute konzipiert. Es kombiniert theoretische Erklärungen mit praktischen Beispielen und illustriert die Anwendungen der Mikro- und Nanotechnologie in der modernen Wissenschaft und Industrie.
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