Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization: The Science of Miniaturization, Second Edition
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Beschreibung
"Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, Second Edition" von Marc J. Madou ist ein umfassendes Werk, das die Grundlagen und Techniken der Mikro- und Nanofabrikation behandelt. Das Buch bietet einen detaillierten Einblick in die physikalischen Prinzipien und Technologien, die in der Herstellung von miniaturisierten Strukturen und Geräten verwendet werden. Es deckt verschiedene Aspekte der Mikrostrukturierung ab, darunter lithografische Verfahren, Ätztechniken, Dünnschichtabscheidung und Materialeigenschaften. Die zweite Auflage erweitert den Inhalt um neue Entwicklungen im Bereich der Nanotechnologie und bietet aktualisierte Informationen über fortschrittliche Herstellungsverfahren. Madou diskutiert sowohl traditionelle als auch innovative Ansätze zur Herstellung von Mikrosystemen und beleuchtet deren Anwendungen in verschiedenen Branchen wie Elektronik, Biomedizin und Kommunikationstechnik. Das Buch richtet sich an Studierende, Forscher und Fachleute auf dem Gebiet der Mikrofabrikation und dient als wertvolle Ressource für das Verständnis der komplexen Prozesse hinter der Miniaturisierungstechnologie.
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