Microsystem Design
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Beschreibung
"Microsystem Design" von Stephen D. Senturia ist ein umfassendes Lehrbuch, das sich mit der Entwicklung und Gestaltung von Mikrosystemen befasst. Es bietet eine detaillierte Einführung in die Grundlagen und Prinzipien der Mikrosystemtechnik, einschließlich der physikalischen, chemischen und biologischen Aspekte. Das Buch behandelt Themen wie Mikroelektromechanische Systeme (MEMS), Materialwissenschaften, Fertigungstechniken und Analysemethoden. Senturia legt besonderen Wert auf die interdisziplinäre Natur des Fachgebiets und integriert Konzepte aus der Elektrotechnik, Mechanik und Materialwissenschaft. Darüber hinaus werden praktische Designprinzipien vorgestellt, die für die Entwicklung effizienter und funktionaler Mikrosysteme unerlässlich sind. Mit zahlreichen Beispielen, Illustrationen und Übungsaufgaben dient das Buch sowohl als akademisches Lehrwerk als auch als Nachschlagewerk für Ingenieure und Forscher in der Industrie.
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