Untersuchungen zur Feuchtigkeitsaufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien für die Anwendung als Zwischenebenendielektrika in Mikrochips: Dissertation
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Beschreibung
Die Dissertation von Christoph Kubasch beschäftigt sich mit der Untersuchung der Feuchtigkeitsaufnahme von Materialien mit niedriger Dielektrizitätskonstante (Niedrig-Epsilon-Materialien), die als Zwischenebenendielektrika in Mikrochip-Anwendungen eingesetzt werden. Der Autor analysiert, wie diese Materialien Feuchtigkeit aufnehmen und welche Auswirkungen dies auf ihre dielektrischen Eigenschaften hat. Ziel der Arbeit ist es, die Eignung dieser Materialien für den Einsatz in der Halbleiterindustrie zu bewerten und mögliche Verbesserungen vorzuschlagen. Durch eine Kombination aus experimentellen Studien und theoretischen Modellen wird ein tieferes Verständnis für die Wechselwirkungen zwischen den Materialien und ihrer Umgebung entwickelt, was zur Optimierung ihrer Leistung in technologischen Anwendungen beitragen soll.
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