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Reliability of MEMS

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Kurzinformation
Sprache:
Englisch
ISBN:
3527314946
Seitenzahl:
304
Auflage:
-
Erschienen:
2007-12-12
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Beschreibung

Reliability of MEMS

This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS devices. Divided into two major parts, following a general introductory chapter to reliability issues, the first part looks at the mechanical properties of the materials used in MEMS, explaining in detail the necessary measuring technologies -- nanoindenters, bulge methods, bending tests, tensile tests, and others. Part Two treats the actual devices, organized by important device categories such as pressure sensors, inertial sensors, RF MEMS, and optical MEMS.

Produktdetails

Einband:
Gebunden
Seitenzahl:
304
Erschienen:
2007-12-12
Sprache:
Englisch
EAN:
9783527314942
ISBN:
3527314946
Gewicht:
749 g
Auflage:
-
Verwandte Sachgebiete:

Über den Autor

Osamu Tabata received his Ph.D. degree from Nagoya Institute of Technology, Japan, in 1993. From 1981 to 1996, he performed industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi, Japan. He then joined the Department of Mecha


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