Reliability of MEMS

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9783527314942

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Produktdetails mehr
Einband: Gebunden
Seitenzahl: 304
Erschienen: 2007-12-12
Sprache: Englisch
EAN: 9783527314942
ISBN: 3527314946
Reihe: Advanced Micro and Nanosystems 6
Verlag: Wiley VCH Verlag GmbH
Gewicht: 749 g
Auflage:
This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for... mehr
Produktinformationen "Reliability of MEMS"
This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS devices. Divided into two major parts, following a general introductory chapter to reliability issues, the first part looks at the mechanical properties of the materials used in MEMS, explaining in detail the necessary measuring technologies -- nanoindenters, bulge methods, bending tests, tensile tests, and others. Part Two treats the actual devices, organized by important device categories such as pressure sensors, inertial sensors, RF MEMS, and optical MEMS.
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