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- hardcover
- 608 Seiten
- Erschienen 2005
- Wiley-VCH
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"CMOS-MEMS" von Jan G. Korvink ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Integration von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) in die CMOS-Technologie befasst. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und bietet...
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