CMOS-MEMS (Advanced Micro and Nanosystems, 2, Band 2)
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Beschreibung
"CMOS-MEMS" von Jan G. Korvink ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Integration von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) in die CMOS-Technologie befasst. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und bietet einen detaillierten Überblick über die theoretischen Grundlagen, Designprinzipien und Fertigungstechniken von CMOS-MEMS. Es behandelt sowohl die physikalischen als auch die technischen Aspekte dieser Technologie und zeigt auf, wie MEMS-Geräte effizient in bestehende Halbleiterprozesse integriert werden können. Durch Beiträge von Experten auf diesem Gebiet wird eine breite Palette von Anwendungen abgedeckt, darunter Sensoren, Aktoren und andere innovative Bauelemente. Das Buch richtet sich an Ingenieure, Forscher und Studierende, die sich mit den fortschrittlichen Konzepten der Mikro- und Nanotechnologie auseinandersetzen möchten.
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