System-level Modeling of MEMS (Advanced Micro and Nanosystems, 10, Band 10)
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"System-level Modeling of MEMS" von Jan G. Korvink ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Modellierung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) auf Systemebene beschäftigt. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und bietet einen tiefgehenden Einblick in die theoretischen und praktischen Aspekte der MEMS-Modellierung.
Der Autor behandelt verschiedene Methoden zur Simulation und Analyse von MEMS, wobei sowohl physikalische als auch mathematische Modelle betrachtet werden. Themen wie Multiphysik-Simulationen, gekoppelte Systeme und die Integration von MEMS in größere elektronische Systeme werden ausführlich diskutiert.
Das Buch richtet sich an Ingenieure, Forscher und Studierende im Bereich der Mikrosystemtechnik und bietet sowohl Grundlagenwissen als auch fortgeschrittene Techniken zur Entwicklung effizienter und präziser Modelle für die Analyse und Optimierung von MEMS. Es betont die Bedeutung einer interdisziplinären Herangehensweise, um die komplexen Wechselwirkungen zwischen mechanischen, elektrischen und thermischen Phänomenen in diesen miniaturisierten Systemen zu verstehen.
Tamara Bechtold is post-doctoral researcher at Philips/NXP Research Laboratories in the Netherlands. She obtained her PhD from the University of Freiburg, Germany, with a thesis on microsystems simulation conducted at the Institute of Microsystems Technology in the group of Jan Korvink. She is the author of one book and many scientific publications. As of 2009, Tamara Bechtold has more than ten years of experience in modeling and simulation of MEMS.
Gabriele Schrag is currently heading a research group at the Munich University of Technology, Germany, working in the field of MEMS modeling with a focus on virtual prototyping and predictive simulation methodologies, parameter extraction, and model verification for microdevices and microsystems. She studied physics at the University of Stuttgart and received her doctorate (with honors) from the Munich University of Technology in 2002, her thesis covering the 'Modeling of Coupled Effects in Microsystems' with a special emphasis on fluid-structure interaction and viscous damping effects. Gabriele Schrag authored and co-authored more than 70 publications in technical journals and conference proceedings.
Lihong Feng is a team leader in the research group of Computational Methods in Systems and Control theory headed by Professor Peter Benner, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems in Magdeburg, Germany. After her PhD from Fudan University in Shanghai, China, she joined the faculty of the State Key Laboratory of Application-Specific Integrated Circuits (ASIC) & System, Fudan University, Shanghai, China. From 2007 to 2008 she was a Humboldt research fellow in the working group of Mathematics in Industry and Technology at the Technical University of Chemnitz, Germany. In 2009-2010, she worked in the Laboratory for Microsystem Simulation, Department of Microsystems Engineering, University of Freiburg, Germany. Her research interests are in the field of reduced order modelling and fast numerical algorithms for control and optimization in Chemical Engineering, MEMS simulation, and circuit simulation.
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