System-level Modeling of MEMS (Advanced Micro and Nanosystems, 10, Band 10)
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Beschreibung
"System-level Modeling of MEMS" von Jan G. Korvink ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Modellierung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) auf Systemebene beschäftigt. Das Buch gehört zur Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und bietet einen tiefgehenden Einblick in die theoretischen und praktischen Aspekte der MEMS-Modellierung. Der Autor behandelt verschiedene Methoden zur Simulation und Analyse von MEMS, wobei sowohl physikalische als auch mathematische Modelle betrachtet werden. Themen wie Multiphysik-Simulationen, gekoppelte Systeme und die Integration von MEMS in größere elektronische Systeme werden ausführlich diskutiert. Das Buch richtet sich an Ingenieure, Forscher und Studierende im Bereich der Mikrosystemtechnik und bietet sowohl Grundlagenwissen als auch fortgeschrittene Techniken zur Entwicklung effizienter und präziser Modelle für die Analyse und Optimierung von MEMS. Es betont die Bedeutung einer interdisziplinären Herangehensweise, um die komplexen Wechselwirkungen zwischen mechanischen, elektrischen und thermischen Phänomenen in diesen miniaturisierten Systemen zu verstehen.
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