Ätzverfahren für Mikrotechnik
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Beschreibung
"Ätzverfahren für Mikrotechnik" von Michael Köhler ist ein Fachbuch, das sich mit den verschiedenen Ätztechniken in der Mikrotechnik beschäftigt. Das Buch bietet eine umfassende Übersicht über die theoretischen Grundlagen und praktischen Anwendungen von Ätzverfahren, die in der Herstellung von mikroelektronischen Bauteilen und mikromechanischen Systemen eingesetzt werden. Es behandelt sowohl chemische als auch physikalische Ätzmethoden und geht auf deren Vor- und Nachteile sowie die spezifischen Einsatzmöglichkeiten ein. Zudem werden Sicherheitsaspekte, Umweltverträglichkeit und aktuelle Entwicklungen im Bereich der Ätztechnologie thematisiert. Das Buch richtet sich an Studierende, Ingenieure und Fachleute, die im Bereich der Mikrotechnologie tätig sind oder sich dafür interessieren.
Produktdetails
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Über den Autor
- Hardcover
- 380 Seiten
- Erschienen 1998
- Springer
- Hardcover
- 252 Seiten
- Erschienen 1999
- Physica-Verlag Heidelberg
- paperback
- 244 Seiten
- Erschienen 1994
- Vieweg
- Hardcover
- 400 Seiten
- Erschienen 1999
- Springer
- Hardcover
- 456 Seiten
- Erschienen 2002
- Springer
- hardcover
- 333 Seiten
- Erschienen 2004
- Carl Hanser Verlag GmbH & C...
- Gebunden
- 880 Seiten
- Erschienen 2019
- Carl Hanser Verlag GmbH & C...
- paperback
- 46 Seiten
- Erschienen 2015
- Holland + Josenhans
- perfect -
- Erschienen 1979
- Siemens AG Berlin
- Kartoniert
- 216 Seiten
- Erschienen 2004
- Spektrum Akademischer Verlag
-
-
-
- Shaker Verlag GmbH
- Hardcover
- 608 Seiten
- Erschienen 2011
- Europa-Lehrmittel