Ätzverfahren für Mikrotechnik

"Ätzverfahren für Mikrotechnik" von Michael Köhler ist ein Fachbuch, das sich mit den verschiedenen Ätztechniken in der Mikrotechnik beschäftigt. Das Buch bietet eine umfassende Übersicht über die theoretischen Grundlagen und praktischen Anwendungen von Ätzverfahren, die in der Herstellung von mikroelektronischen Bauteilen und mikromechanischen Systemen eingesetzt werden. Es behandelt sowohl chemische als auch physikalische Ätzmethoden und geht auf deren Vor- und Nachteile sowie die spezifischen Einsatzmöglichkeiten ein. Zudem werden Sicherheitsaspekte, Umweltverträglichkeit und aktuelle Entwicklungen im Bereich der Ätztechnologie thematisiert. Das Buch richtet sich an Studierende, Ingenieure und Fachleute, die im Bereich der Mikrotechnologie tätig sind oder sich dafür interessieren.