Untersuchungen zur Anwendbarkeit;Ruthenium-basierter Schichten für die Verdrahtung;integrierter Schaltkreise: Dissertation
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Beschreibung
Die Dissertation von Henry Wojcik untersucht die Anwendbarkeit von ruthenium-basierten Schichten für die Verdrahtung in integrierten Schaltkreisen. Das Werk analysiert die physikalischen und chemischen Eigenschaften von Ruthenium als Material für Leiterbahnen und vergleicht dessen Leistungsfähigkeit mit herkömmlichen Materialien wie Kupfer. Wojcik erforscht verschiedene Abscheidungsverfahren, um die Qualität und Zuverlässigkeit der Ruthenium-Schichten zu optimieren. Die Arbeit beleuchtet auch die Herausforderungen bei der Integration dieser Technologie in bestehende Produktionsprozesse und bewertet deren potenziellen Einfluss auf die Effizienz und Leistung zukünftiger elektronischer Bauteile.
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