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- paperback
- 176 Seiten
- Erschienen 2013
- Westarp BookOnDemand
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Die Dissertation von Henry Wojcik untersucht die Anwendbarkeit von ruthenium-basierten Schichten für die Verdrahtung in integrierten Schaltkreisen. Das Werk analysiert die physikalischen und chemischen Eigenschaften von Ruthenium als...
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