Dry Etching for Microelectronics
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Beschreibung
"Dry Etching for Microelectronics" von Ronald A. Powell ist ein technisches Buch, das sich auf den Prozess und die Techniken der Trockenätzung in der Mikroelektronik konzentriert. Es behandelt verschiedene Aspekte des Trockenätzprozesses, einschließlich der Grundlagen, der verschiedenen Methoden und Technologien sowie deren Anwendungen in verschiedenen Bereichen der Mikroelektronik. Das Buch bietet auch eine detaillierte Analyse verschiedener Ätzverfahren, ihrer Vor- und Nachteile sowie ihrer Auswirkungen auf die Leistung von Mikroelektronikgeräten. Darüber hinaus enthält es zahlreiche Diagramme und Illustrationen zur Veranschaulichung komplexer Konzepte und Prozesse. Es ist sowohl für Fachleute als auch für Studenten geeignet, die sich mit Halbleitertechnologie beschäftigen.
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