Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials
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Beschreibung
"Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials" von Mato Knez ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Technik der Atomlagenabscheidung (ALD) und ihrer Anwendung in der Herstellung nanostrukturierter Materialien beschäftigt. Das Buch bietet eine detaillierte Einführung in die Grundlagen und Prinzipien der ALD, einschließlich der chemischen Prozesse und Reaktionsmechanismen, die dieser präzisen Dünnschichttechnologie zugrunde liegen. Es beleuchtet die Vorteile von ALD bei der Kontrolle von Materialeigenschaften auf atomarer Ebene und diskutiert deren Bedeutung für verschiedene Anwendungsgebiete wie Elektronik, Optik, Energiespeicherung und -umwandlung sowie Biotechnologie. Darüber hinaus werden aktuelle Fortschritte in der ALD-Technologie sowie innovative Ansätze zur Integration von ALD in industrielle Prozesse vorgestellt. Das Buch richtet sich an Wissenschaftler, Ingenieure und Studierende im Bereich Materialwissenschaften und Nanotechnologie, die ein tiefgehendes Verständnis für die Potenziale und Herausforderungen der Atomlagenabscheidung entwickeln möchten.
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