Plasma-Aided Nanofabrication: From Plasma Sources to Nanoassembly
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Beschreibung
"Plasma-Aided Nanofabrication: From Plasma Sources to Nanoassembly" von Shuyan Xu bietet eine umfassende Einführung in die Verwendung von Plasmen zur Herstellung von Nanostrukturen. Das Buch deckt die grundlegenden Prinzipien und Techniken der Plasmatechnologie ab, die für die Nanofabrikation relevant sind. Es beginnt mit einer detaillierten Erklärung der verschiedenen Plasmaquellen und ihrer Eigenschaften. Anschließend wird erläutert, wie diese Plasmen bei der Manipulation von Materialien auf der Nanoskala eingesetzt werden können. Der Autor beschreibt verschiedene Anwendungen und Methoden, darunter das Ätzen, Beschichten und Strukturieren von Oberflächen sowie den Zusammenbau komplexer nanoskaliger Systeme. Durch die Kombination theoretischer Grundlagen mit praktischen Beispielen bietet das Buch wertvolle Einblicke für Forscher und Ingenieure, die sich mit der Entwicklung fortschrittlicher nanotechnologischer Anwendungen beschäftigen.
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