
Industrial Ion Sources: Broadbeam Gridless Ion Source Technology
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Beschreibung
"Industrial Ion Sources: Broadbeam Gridless Ion Source Technology" von Viacheslav V. Zhurin bietet eine umfassende Darstellung der Technologie und Anwendung von breitstrahligen, gitterlosen Ionenquellen. Das Buch behandelt die physikalischen Grundlagen und technischen Aspekte dieser Ionenquellen, die in verschiedenen industriellen Prozessen eingesetzt werden. Es beschreibt die Konstruktion, Funktionsweise und Optimierung der Geräte sowie deren Einsatzmöglichkeiten in Bereichen wie Oberflächenmodifikation, Dünnschichtabscheidung und Halbleiterfertigung. Darüber hinaus werden praktische Herausforderungen und Lösungen bei der Implementierung dieser Technologie diskutiert, wobei ein besonderer Fokus auf Effizienzsteigerungen und Innovationen gelegt wird.
Produktdetails

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Über den Autor
- Gebunden
- 358 Seiten
- Erschienen 2005
- Springer
- hardcover
- 267 Seiten
- Erschienen 2000
- Wiley-VCH Verlag GmbH & Co....
- Gebunden
- 378 Seiten
- Erschienen 2009
- Wiley-VCH
- Taschenbuch
- 368 Seiten
- Erschienen 2020
- Wiley
- Gebunden
- 216 Seiten
- Erschienen 2007
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 313 Seiten
- Erschienen 2008
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 445 Seiten
- Erschienen 2020
- Wiley-VCH
- Kartoniert
- 267 Seiten
- Erschienen 1987
- GB Gardners Books
- Hardcover
- 416 Seiten
- Erschienen 2022
- Wiley-IEEE Press
- Gebunden
- 529 Seiten
- Erschienen 2012
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 958 Seiten
- Erschienen 2017
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 736 Seiten
- Erschienen 2021
- Wiley-VCH
- Kartoniert
- 450 Seiten
- Erschienen 2008
- Wiley-VCH
- hardcover
- 544 Seiten
- Erschienen 2007
- Mcgraw Hill Book Co
- Gebunden
- 486 Seiten
- Erschienen 2017
- Wiley-VCH
- paperback
- 120 Seiten
- Erschienen 2019
- Mensch & Buch
- hardcover
- 266 Seiten
- Erschienen 2000
- Clarendon Press
- Hardcover
- 320 Seiten
- Erschienen 2023
- Wiley-IEEE Press
- Gebunden
- 386 Seiten
- Erschienen 2016
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 269 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- Hardcover
- 392 Seiten
- Erschienen 2008
- World Scientific Publishing...