Thin Film Deposition: Principles and Practice
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Beschreibung
"Thin Film Deposition: Principles and Practice" von Donald L. Smith ist ein umfassendes Lehrbuch, das sich mit den grundlegenden Prinzipien und praktischen Anwendungen der Dünnschichtabscheidung beschäftigt. Das Buch bietet eine detaillierte Einführung in die physikalischen und chemischen Prozesse, die bei der Herstellung von Dünnschichten zum Einsatz kommen. Es behandelt verschiedene Abscheidungstechniken wie physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und epitaktische Verfahren. Smith erklärt sowohl die theoretischen Grundlagen als auch die technischen Herausforderungen, die mit der Dünnschichttechnologie verbunden sind. Dazu gehören Themen wie Schichtwachstum, Materialeigenschaften und Analysemethoden zur Charakterisierung von Dünnfilmen. Das Buch richtet sich an Studierende und Fachleute in den Bereichen Materialwissenschaften, Physik und Ingenieurwesen, die ein tieferes Verständnis für die Herstellung und Anwendung von Dünnfilmen entwickeln möchten. Durch seine klare Struktur und praxisorientierte Herangehensweise dient es sowohl als Lehrbuch für Einsteiger als auch als Nachschlagewerk für erfahrene Wissenschaftler und Ingenieure in diesem Fachgebiet.
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