
Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten zur Herstellung von tageslichtlenkenden Mikrospiegel-Array
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Beschreibung
Im Rahmen dieser Dissertation wurden mechanisch verspannte Aluminiumschichten untersucht, um sie in einen bestehenden Herstellungsprozess für Mikrospiegel-Arrays einzubetten. Diese verspannten Schichten werden benötigt, um das Aufstellen der gefertigten Mikrospiegel zu gewährleisten. Auf diese Weise konnte der gesamte Herstellungsprozess für diese Mikrospiegel stark vereinfacht werden. Diverse Anpassungen der vorher genutzten Herstellungsschritte werden in dieser Arbeit dokumentiert. Durch die beschriebenen Veränderungen konnten eine stark verbesserte Prozessausbeute und die Herstellung von Mikrospiegel-Arrays auf größeren Flächen erzielt werden. Zukünftig könnte der beschriebene Herstellungsprozess durch ein 3D-Nanoimprint Verfahren weiter vereinfacht werden. von Jäkel, Andreas
Produktdetails

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Über den Autor
- hardcover
- 280 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley
- Kartoniert
- 216 Seiten
- Erschienen 2004
- Spektrum Akademischer Verlag
- paperback
- 232 Seiten
- Erschienen 2014
- TUDpress
- Gebunden
- 745 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 480 Seiten
- Erschienen 2008
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 313 Seiten
- Erschienen 2008
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 975 Seiten
- Erschienen 2007
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 352 Seiten
- Erschienen 2015
- Wiley-VCH
- perfect
- 520 Seiten
- Erschienen 2013
- Springer
- Gebunden
- 435 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 370 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- hardcover
- 332 Seiten
- Erschienen 2009
- Taylor & Francis
- Gebunden
- 386 Seiten
- Erschienen 2016
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 418 Seiten
- Erschienen 2008
- Wiley-VCH