Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten zur Herstellung von tageslichtlenkenden Mikrospiegel-Array

Im Rahmen dieser Dissertation wurden mechanisch verspannte Aluminiumschichten untersucht, um sie in einen bestehenden Herstellungsprozess für Mikrospiegel-Arrays einzubetten. Diese verspannten Schichten werden benötigt, um das Aufstellen der gefertigten Mikrospiegel zu gewährleisten. Auf diese Weise konnte der gesamte Herstellungsprozess für diese Mikrospiegel stark vereinfacht werden. Diverse Anpassungen der vorher genutzten Herstellungsschritte werden in dieser Arbeit dokumentiert. Durch die beschriebenen Veränderungen konnten eine stark verbesserte Prozessausbeute und die Herstellung von Mikrospiegel-Arrays auf größeren Flächen erzielt werden. Zukünftig könnte der beschriebene Herstellungsprozess durch ein 3D-Nanoimprint Verfahren weiter vereinfacht werden. von Jäkel, Andreas