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- Kartoniert
- 132 Seiten
- Erschienen 2017
- Universität Kassel
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Im Rahmen dieser Dissertation wurden mechanisch verspannte Aluminiumschichten untersucht, um sie in einen bestehenden Herstellungsprozess für Mikrospiegel-Arrays einzubetten. Diese verspannten Schichten werden benötigt, um das Aufstellen...
39,00 €