Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
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Beschreibung
Das "Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions" von Jerome J. Cuomo ist ein umfassendes Nachschlagewerk für alle Aspekte der Plasmaverarbeitungstechnologie. Das Buch behandelt die Grundlagen dieser Technologie und deren Anwendung in den Bereichen Ätzen, Abscheidung und Oberflächeninteraktionen. Es bietet eine detaillierte Übersicht über die Materialwissenschaft und Prozesstechnik im Zusammenhang mit der Plasmatechnologie. Der Text enthält auch ausführliche Informationen über verschiedene Arten von Plasmen, ihre Erzeugung und Kontrolle sowie ihre Wechselwirkungen mit verschiedenen Materialien. Dieses Handbuch ist sowohl für Wissenschaftler als auch für Ingenieure in der Halbleiter- und Elektronikindustrie ein unverzichtbares Werkzeug.
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