Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications

Das "Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques" von Klaus K. Schuegraf bietet eine umfassende Übersicht über die Prinzipien, Methoden, Ausrüstungen und Anwendungen der Dünnschichtabscheidung. Das Buch behandelt detailliert verschiedene Abscheidungstechniken wie physikalische und chemische Dampfphasenabscheidung, sowie fortschrittliche Verfahren zur Herstellung von Dünnfilmen. Es wird auf die physikalischen Grundlagen eingegangen, die für das Verständnis der Prozesse notwendig sind, und es werden spezifische Anwendungen in der Elektronik- und Halbleiterindustrie beleuchtet. Zudem bietet das Werk praktische Einblicke in die Auswahl geeigneter Materialien und Geräte für spezifische industrielle Anwendungen. Das Handbuch dient als wertvolle Ressource für Ingenieure, Wissenschaftler und Studierende im Bereich Materialwissenschaften und Oberflächentechnik.