
Hochratenprozesse für organische Halbleiterbauelemente
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Beschreibung
Im Rahmen dieser Arbeit wurde der Einfluss des Abscheideprozesses auf die Eigenschaften eines organischen Halbleiterbauelements untersucht. Dabei lag das Hauptaugenmerk auf der Abscheidung der Deckelektrode. Diese stellt den energieintensivsten Prozessschritt bei der Herstellung einer organischen Leuchtdiode (OLED) dar und kann zu Degradationseffekten im Bauelement führen, wie hier nachgewiesen wird. Untersucht wurden sowohl transparente Kontakte aus kathodenzerstäubtem, Aluminium dotiertem Zinkoxid (AZO), als auch opake Elektroden aus physikalisch-thermisch abgeschiedenen Aluminium. Das Ziel der Untersuchungen bestand darin, Verfahren mit möglichst hohen Beschichtungsraten zu entwickeln, deren Abscheidung keinen nachteiligen Einfluss auf darunter liegende Schichten nimmt. von Mozer, Steffen
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Über den Autor
- perfect
- 520 Seiten
- Erschienen 2013
- Springer
- Gebunden
- 634 Seiten
- Erschienen 2012
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 250 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 557 Seiten
- Erschienen 2012
- Wiley-VCH
- Hardcover -
- Erschienen 2014
- Springer Vieweg
- Hardcover -
- Erschienen 2009
- Springer
- Hardcover -
- Erschienen 2005
- Wiley-VCH Verlag GmbH & Co....
- paperback
- 419 Seiten
- Erschienen 1997
- Wiley-VCH
- hardcover
- 304 Seiten
- Erschienen 2015
- Cambridge University Press
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- Erschienen 1999
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- Gebunden
- 504 Seiten
- Erschienen 2010
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- Erschienen 2020
- Wiley-VCH
- paperback
- 1631 Seiten
- Erschienen 2002
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- 527 Seiten
- Erschienen 1997
- Springer