3D and Circuit Integration of MEMS
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Beschreibung
"3D and Circuit Integration of MEMS" von Masayoshi Esashi ist ein technisches Buch, das sich auf die Entwicklung und Anwendung von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) konzentriert. Das Buch beginnt mit einer Einführung in die Grundlagen der 3D-Integration und der Schaltungstechnik. Es erläutert dann detailliert die verschiedenen Techniken und Materialien, die zur Herstellung von MEMS verwendet werden. Es geht auch auf die Herausforderungen bei der Integration dieser Systeme in elektronische Geräte ein. Darüber hinaus bietet das Buch eine umfassende Analyse aktueller Forschungstrends und zukünftiger Entwicklungen im Bereich MEMS. Es ist ein unverzichtbares Nachschlagewerk für Ingenieure, Wissenschaftler und Studenten, die auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie arbeiten.
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