MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
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Beschreibung
Das Buch "MEMS in der Mikrosystemtechnik" von Markus Glück bietet eine umfassende Einführung in die Welt der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS). Es behandelt die grundlegenden Aufbau- und Wirkprinzipien dieser Technologien, die eine Schlüsselrolle in der modernen Mikrosystemtechnik spielen. Der Autor erläutert detailliert die verschiedenen Herstellungsmethoden von MEMS und gibt Einblicke in deren praktische Anwendungen, insbesondere im Bereich der Sensorsysteme. Durch zahlreiche Beispiele und Abbildungen wird das Verständnis für den Einsatz von MEMS in verschiedenen Industriebereichen vertieft. Das Buch richtet sich sowohl an Studierende als auch an Fachleute, die ihr Wissen über diese innovativen Technologien erweitern möchten.
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