Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology
Kurzinformation
Sprache:
Englisch
ISBN:
9781420055191
Verlag:
Seitenzahl:
670 Seiten
Auflage:
-
Erschienen:
2011-06-13
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Beschreibung
Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology
Designed for science and engineering students, this text focuses on emerging trends in processes for fabricating MEMS and NEMS devices. The book reviews different forms of lithography, subtractive material removal processes, and additive technologies. Both top-down and bottom-up fabrication processes are exhaustively covered and the merits of the different approaches are compared. Students can use this color volume as a guide to help establish the appropriate fabrication technique for any type of micro- or nano-machine. von Madou, Marc J
Produktdetails
Einband:
Hardcover
Seitenzahl:
670 Seiten
Erschienen:
2011-06-13
Sprache:
Englisch
EAN:
9781420055191
ISBN:
9781420055191
Verlag:
Gewicht:
2018 g
Auflage:
-
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