Rapid Thermal Processing: Science and Technology

"Rapid Thermal Processing: Science and Technology" von Richard B. Fair ist ein umfassendes Fachbuch, das sich mit den Grundlagen und Anwendungen der Rapid Thermal Processing (RTP) in der Halbleiterindustrie beschäftigt. RTP ist eine Schlüsseltechnologie zur Herstellung moderner Halbleiterbauelemente, die durch schnelles Aufheizen und Abkühlen präzise Temperaturkontrolle während des Fertigungsprozesses ermöglicht. Das Buch deckt eine Vielzahl von Themen ab, darunter die physikalischen Prinzipien der Wärmeübertragung, die chemischen Reaktionen während des RTP-Prozesses sowie die verschiedenen Techniken und Geräte, die in der Praxis verwendet werden. Es beleuchtet auch die Herausforderungen und Lösungen bei der Implementierung von RTP in industriellen Anwendungen. Ein besonderes Augenmerk wird auf die Optimierung der Prozessparameter gelegt, um höchste Qualität und Zuverlässigkeit der hergestellten Bauteile zu gewährleisten. Darüber hinaus werden aktuelle Forschungsergebnisse und technologische Entwicklungen vorgestellt, die das Potenzial haben, zukünftige Fortschritte im Bereich der Halbleiterfertigung zu beeinflussen. Dieses Buch richtet sich an Ingenieure, Wissenschaftler und Studierende, die ein tiefgehendes Verständnis für Rapid Thermal Processing erlangen möchten. Es bietet sowohl theoretische Einblicke als auch praktische Anleitungen zur Anwendung dieser Technologie in realen Produktionsumgebungen.