Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns (Dresdner Beiträge zur Sensorik)
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Beschreibung
Das Buch "Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns" von Stephan Barth beschäftigt sich mit der Herstellung und Charakterisierung von Aluminiumnitrid-Dünnschichten, die piezoelektrische Eigenschaften aufweisen. Diese Dünnschichten sind besonders relevant für Anwendungen in der Sensorik und Aktorik. Der Autor beschreibt detailliert den Prozess des reaktiven Magnetron-Sputterns, eine Technik zur Abscheidung dünner Schichten, die hohe Abscheideraten ermöglicht. Das Buch analysiert die physikalischen und chemischen Eigenschaften der erzeugten Schichten und diskutiert deren Potenzial für den Einsatz in verschiedenen technologischen Anwendungen. Dabei wird besonderer Wert auf die Optimierung der Herstellungsparameter gelegt, um die Qualität und Funktionalität der Aluminiumnitrid-Schichten zu verbessern.
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