Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
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Beschreibung
"Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik" von Ulrich Hilleringmann bietet eine umfassende Einführung in die Technologie der Silizium-Halbleiter und deren Anwendung in der Mikroelektronik. Das Buch behandelt die grundlegenden physikalischen und chemischen Prinzipien, die der Halbleitertechnologie zugrunde liegen, sowie die verschiedenen Prozesse der Herstellung und Integration von Mikrochips. Es erklärt detailliert die Schritte des Wafer-Fertigungsprozesses, einschließlich Lithografie, Ätzen, Dotieren und Schichtabscheidung. Darüber hinaus werden moderne Entwicklungen und Herausforderungen in der Mikroelektronik besprochen, wie etwa Skalierungsgrenzen und neue Materialansätze. Das Werk richtet sich sowohl an Studierende als auch an Fachleute, die ein tieferes Verständnis für die technische Basis moderner elektronischer Geräte erlangen möchten.
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