
Silizium-Halbleitertechnologie
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Beschreibung
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. von Hilleringmann, Ulrich
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Über den Autor
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
- Hardcover -
- Erschienen 2014
- Springer Vieweg
- perfect
- 520 Seiten
- Erschienen 2013
- Springer
- hardcover
- 332 Seiten
- Erschienen 2009
- Taylor & Francis
- Hardcover -
- Erschienen 2009
- Springer
- Gebunden
- 480 Seiten
- Erschienen 2008
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 745 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 301 Seiten
- Erschienen 2014
- Wiley-VCH
- Gebunden
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- Erschienen 2021
- Wiley-VCH
- paperback
- 1631 Seiten
- Erschienen 2002
- Springer
- paperback
- 818 Seiten
- Erschienen 2024
- Elsevier
- hardcover
- 552 Seiten
- Erschienen 1996
- CRC Press