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Silizium-Halbleitertechnologie

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Kurzinformation

Sprache:
Deutsch
ISBN:
3658234431
Seitenzahl:
275
Auflage:
-
Erschienen:
2019-01-18
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Beschreibung

Silizium-Halbleitertechnologie
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. von Hilleringmann, Ulrich

Produktdetails

Einband:
Kartoniert
Seitenzahl:
275
Erschienen:
2019-01-18
Sprache:
Deutsch
EAN:
9783658234430
ISBN:
3658234431
Gewicht:
538 g
Auflage:
-
Verwandte Sachgebiete:
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Über den Autor

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.


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