A Practical Guide to Optical Metrology for Thin Films
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Beschreibung
"A Practical Guide to Optical Metrology for Thin Films" von Michael Quinten ist ein umfassendes Handbuch für Wissenschaftler und Ingenieure, die sich mit der Messung und Analyse dünner Schichten befassen. Das Buch bietet eine detaillierte Einführung in die optische Metrologie, einschließlich grundlegender Konzepte, Methoden und Anwendungen. Es behandelt verschiedene Techniken wie Spektroskopie, Ellipsometrie und Interferometrie. Darüber hinaus erläutert es den Einfluss von Oberflächenrauheit, Materialdispersion und anderen Faktoren auf die Messergebnisse. Praktische Beispiele und Fallstudien unterstützen das Verständnis der Theorie. Der Autor betont auch die Bedeutung der Modellierung und Simulation für die Interpretation von Messdaten.
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