Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices (Advanced Micro and Nanosystems)
Testing of Materials and Devices
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Das Buch "Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices" von Oliver Brand ist Teil der Reihe "Advanced Micro and Nanosystems" und widmet sich der Zuverlässigkeit von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS). Es behandelt die verschiedenen Aspekte der Zuverlässigkeitsprüfung von MEMS-Materialien und -Geräten. Der Fokus liegt auf den Methoden zur Charakterisierung und Bewertung der Lebensdauer sowie der funktionalen Integrität dieser Systeme unter verschiedenen Betriebsbedingungen. Das Buch bietet Einblicke in experimentelle Techniken, Testprotokolle und Analysemethoden, die für Ingenieure und Forscher im Bereich Mikro- und Nanotechnologie von Bedeutung sind. Durch die Kombination theoretischer Grundlagen mit praktischen Beispielen liefert es wertvolle Informationen zur Verbesserung der Leistung und Langlebigkeit von MEMS-Anwendungen.
Osamu Tabata is Professor in the Department of Microengineering at Kyoto University. He received his MSc and PhD degrees from Nagoya Institute of Technology. From 1981 to 1996, he performed industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi, Japan. He joined the Department of Mechanical Engineering of Ritsumeikan University in Shiga, Japan, in 1996, and the Department of Mechanical Engineering at Kyoto University in 2003. Osamu Tabata is engaged in the research of micro/nano processes, MEMS and micro/nano system synthetic engineering. He received numerous awards, including the Science News Award and the Research & Development Top 100 Award in 1993 and 1998.
Toshiyuki Tsuchiya is Assistant Professor in the Department of Microengineering at Kyoto University. He received his PhD from Nagoya University, Japan, in 2002. From 1993 to 2004, he carried out industrial research at Toyota Central Research and Development Laboratories in Aichi, Japan. In 2004, he joined the Department of Mechanical Engineering of Kyoto University. Toshiyuki Tsuchiya's current research is focused on mechanical properties evaluation of micro/nano materials and MEMS and micro/nano system synthetic engineering.
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