Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
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Beschreibung
"Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik" von Ulrich Hilleringmann bietet eine umfassende Einführung in die Welt der Halbleitertechnologie, insbesondere im Bereich der Silizium-basierten Mikroelektronik. Das Buch behandelt die grundlegenden Prinzipien und Prozesse, die bei der Herstellung integrierter Schaltkreise zum Einsatz kommen. Es erläutert die physikalischen und chemischen Grundlagen der Halbleiterphysik sowie die verschiedenen Technologien zur Herstellung von Chips, darunter Lithografie, Dotierung und Ätzverfahren. Zudem wird auf moderne Entwicklungen und Herausforderungen in der Mikroelektronik eingegangen, wie etwa die Miniaturisierung von Bauelementen und neue Materialien. Das Werk richtet sich an Studierende der Elektrotechnik und Physik sowie an Ingenieure in der Halbleiterindustrie.
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