Micro and Nano Fabrication
Kurzinformation
Sprache:
Englisch
ISBN:
3662443945
Verlag:
Seitenzahl:
517
Auflage:
-
Erschienen:
2015-02-14
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Beschreibung
Micro and Nano Fabrication
Tools and Processes
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control. von Gatzen, Hans-Heinrich und Saile, Volker und Leuthold, Juerg
Produktdetails
Einband:
Gebunden
Seitenzahl:
517
Erschienen:
2015-02-14
Sprache:
Englisch
EAN:
9783662443941
ISBN:
3662443945
Verlag:
Gewicht:
980 g
Auflage:
-
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