LeafKlimaneutrales Unternehmen CoinFaire Preise PackageSchneller und kostenloser Versand ab 14,90 € Bestellwert
Micro and Nano Fabrication

Micro and Nano Fabrication

inkl. MwSt. Versandinformationen

Artikel zZt. nicht lieferbar

Artikel zZt. nicht lieferbar

Kurzinformation
Sprache:
Englisch
ISBN:
3662443945
Seitenzahl:
517
Auflage:
-
Erschienen:
2015-02-14
Dieser Artikel steht derzeit nicht zur Verfügung!

Gebrauchte Bücher kaufen

Information
Das Buch befindet sich in einem sehr guten, unbenutzten Zustand.
Information
Das Buch befindet sich in einem sehr guten, gelesenen Zustand. Die Seiten und der Einband sind intakt. Buchrücken/Ecken/Kanten können leichte Gebrauchsspuren aufweisen.
Information
Das Buch befindet sich in einem guten, gelesenen Zustand. Die Seiten und der Einband sind intakt. Buchrücken/Ecken/Kanten können Knicke/Gebrauchsspuren aufweisen.
Information
Das Buch befindet sich in einem lesbaren Zustand. Die Seiten und der Einband sind intakt, jedoch weisen Buchrücken/Ecken/Kanten starke Knicke/Gebrauchsspuren auf. Zusatzmaterialien können fehlen.

Neues Buch oder eBook (pdf) kaufen

Information
Neuware - verlagsfrische aktuelle Buchausgabe.
Natural Handgeprüfte Gebrauchtware
Coins Schnelle Lieferung
Check Faire Preise

inkl. MwSt. Versandinformationen

Artikel zZt. nicht lieferbar

Artikel zZt. nicht lieferbar

Weitere Zahlungsmöglichkeiten  
Zahlungsarten

Beschreibung

Micro and Nano Fabrication
Tools and Processes

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control. von Gatzen, Hans-Heinrich und Saile, Volker und Leuthold, Juerg

Produktdetails

Einband:
Gebunden
Seitenzahl:
517
Erschienen:
2015-02-14
Sprache:
Englisch
EAN:
9783662443941
ISBN:
3662443945
Gewicht:
980 g
Auflage:
-
Alle gebrauchten Bücher werden von uns handgeprüft.
So garantieren wir Dir zu jeder Zeit Premiumqualität.

Über den Autor

Hans Gatzen received a PhD equivalent in Mechanical Engineering from the RWTH Aachen in Aachen, Germany, and held various positions in the computer peripherals industry in Germany and the U.S. from 1973 to 1992. In 1992, he founded the Institute for Microtechnology (imt) at the Hanover University in Hanover, Germany (now Leibniz Universität Hannover) and was its director until his retirement in 2010. He is a Fellow of the American Society of Mechanical Engineers (ASME) and a member of Acatech (National Academy of Science and Engineering). Volker Saile received a PhD in Physics from the Ludwigs-Maximilians-Universitaet München (LMU), and was later employed as a Staff Scientist at the Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY in Hamburg, Germany, until 1989. From 1989 to 1998, he served as the Director of the J. Bennett Johnston, Sr., Center for Advanced Microstructures and Devices (CAMD), Baton Rouge, Louisana, USA. Since 1998, he is Professor of Microstructure Technology at the Karlsruhe Institute of Technology (KIT). Currently, he serves as Head of the KIT Division 5, Physics and Mathematics.Juerg Leuthold is the head of the Institute of Electromagnetic Fields (IEF) at ETH Zurich, Switzerland. His research interests are in the field of nano-photonics, plasmonics, integrated optics and optical communications. From 2004 to 2013 he was a full Professor at the Karlsruhe Institute of Technology (KIT) in Germany and from 1999 to 2004 he was affiliated with Bell Labs, Lucent Technologies. 


Entdecke mehr vom Verlag


Neu
128,39 €
Entdecke mehr Gebrauchtes für Dich
frontend/listing/product-box/box-product-slider.tpl
frontend/listing/product-box/box-product-slider.tpl