Silicon Anodization as a Structuring Technique
Kurzinformation
Sprache:
Englisch
ISBN:
3658192372
Verlag:
Seitenzahl:
316
Auflage:
-
Erschienen:
2017-09-22
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Beschreibung
Silicon Anodization as a Structuring Technique
Literature Review, Modeling and Experiments
Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed. ¿ von Ivanov, Alexey
Produktdetails
Einband:
Kartoniert
Seitenzahl:
316
Erschienen:
2017-09-22
Sprache:
Englisch
EAN:
9783658192372
ISBN:
3658192372
Verlag:
Gewicht:
451 g
Auflage:
-
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