Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials
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Beschreibung
"Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials" von Kiyotaka Wasa ist ein umfassendes Werk, das sich mit der Technologie und Anwendung von Dünnschichtmaterialien beschäftigt. Das Buch konzentriert sich insbesondere auf das Sputterverfahren, eine zentrale Technik zur Abscheidung von Dünnschichten. Wasa erklärt die physikalischen Grundlagen des Sputterns und geht detailliert auf die Herstellung und Charakterisierung verschiedener Verbindungen ein. Zudem behandelt das Buch die strukturellen, elektrischen und optischen Eigenschaften der erzeugten Schichten sowie deren Anwendungen in verschiedenen High-Tech-Bereichen wie Mikroelektronik, Optoelektronik und Sensorik. Durch die Kombination von theoretischen Grundlagen und praktischen Anwendungsbeispielen bietet es sowohl Wissenschaftlern als auch Ingenieuren wertvolle Einblicke in die Entwicklung fortschrittlicher Materialtechnologien.
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