Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen (Mikroelektronik)
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Beschreibung
Das Buch "Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte MOS-Schaltungen (Mikroelektronik)" von F. Z. Strycharczyk bietet eine umfassende Einführung in die Herstellungstechnologien für integrierte Metall-Oxid-Halbleiter (MOS) Schaltungen, die in der Mikroelektronik weit verbreitet sind. Es behandelt detailliert die verschiedenen Fertigungsverfahren, beginnend mit den Grundlagen der Halbleiterphysik und der Materialwissenschaften bis hin zu spezifischen Prozessen wie Lithografie, Ätzen, Dotierung und Dünnschichttechniken. Das Buch legt besonderen Wert auf die praktische Anwendung dieser Verfahren in der industriellen Produktion und beleuchtet aktuelle technologische Entwicklungen sowie Herausforderungen in der Herstellung von MOS-Schaltungen. Es richtet sich an Studierende und Fachleute im Bereich der Elektrotechnik und Mikroelektronik, die ein tieferes Verständnis für die Prozessschritte und Technologien gewinnen möchten, die zur Herstellung moderner integrierter Schaltkreise erforderlich sind.
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