A Practical Guide to Optical Metrology for Thin Films
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Beschreibung
"A Practical Guide to Optical Metrology for Thin Films" von Michael Quinten bietet eine umfassende Einführung in die optische Messtechnik, die speziell auf dünne Filme angewendet wird. Das Buch behandelt grundlegende Prinzipien und fortgeschrittene Techniken zur Charakterisierung und Analyse von dünnen Schichten, die in einer Vielzahl von industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen relevant sind. Es erklärt verschiedene Messmethoden wie Ellipsometrie, Reflexionsspektroskopie und andere optische Verfahren zur Bestimmung von Eigenschaften wie Dicke, Brechungsindex und Oberflächenrauheit. Der Autor geht auch auf praktische Aspekte der Messtechnik ein, einschließlich Instrumentierung, Datenanalyse und Fehlerquellen. Durch zahlreiche Beispiele und Abbildungen wird das Verständnis für die Anwendung dieser Techniken in realen Szenarien erleichtert. Dieses Buch richtet sich an Ingenieure, Wissenschaftler und Studenten, die sich mit der Entwicklung oder Analyse von dünnen Filmen beschäftigen.
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