Industrial Ion Sources: Broadbeam Gridless Ion Source Technology
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Beschreibung
"Industrial Ion Sources: Broadbeam Gridless Ion Source Technology" von Viacheslav V. Zhurin bietet eine umfassende Darstellung der Technologie und Anwendung von breitstrahligen, gitterlosen Ionenquellen. Das Buch behandelt die physikalischen Grundlagen und technischen Aspekte dieser Ionenquellen, die in verschiedenen industriellen Prozessen eingesetzt werden. Es beschreibt die Konstruktion, Funktionsweise und Optimierung der Geräte sowie deren Einsatzmöglichkeiten in Bereichen wie Oberflächenmodifikation, Dünnschichtabscheidung und Halbleiterfertigung. Darüber hinaus werden praktische Herausforderungen und Lösungen bei der Implementierung dieser Technologie diskutiert, wobei ein besonderer Fokus auf Effizienzsteigerungen und Innovationen gelegt wird.
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