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Das Buch "CMOS-MEMS" von Osamu Tabata ist Teil der Reihe "Advanced Micro & Nanosystems" und bietet einen umfassenden Überblick über die Integration von CMOS-Technologie (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) mit MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Diese Kombination ermöglicht die Entwicklung fortschrittlicher Mikrosysteme, die sowohl elektronische als auch mechanische Komponenten auf einem einzigen Chip vereinen.
Das Buch behandelt grundlegende Prinzipien, Designstrategien und Herstellungsverfahren für CMOS-MEMS-Technologien. Es beleuchtet verschiedene Anwendungen in Bereichen wie Sensorik, Aktorik und Signalverarbeitung. Zudem werden Herausforderungen bei der Integration dieser Technologien sowie mögliche Lösungsansätze diskutiert. Durch Beiträge von Experten auf diesem Gebiet bietet das Werk wertvolle Einblicke für Ingenieure, Forscher und Studierende, die sich mit der Entwicklung moderner Mikrosysteme beschäftigen.
Oliver Brand is Professor of Bioengineering and Microelectronics/Microsystems at Georgia Institute of Technology, Atlanta, USA. He received his diploma degree in Physics from Technical University Karlsruhe, Germany, in 1990, and his PhD from ETH Zurich, Switzerland, in 1994. Between 1995 and 2002, he held research and teaching positions at the Georgia Institute of Technology (1995-1997) and ETH Zurich (1997-2002). Oliver Brand's research interest is in the areas of CMOS-based micro- and nanosystems, MEMS fabrication technologies, and microsystem packaging.
Gary K. Fedder is Professor of Electrical and Computer Engineering, Professor of The Robotics Institute and the Director of the Institute for Complex Engineered Systems (ICES) at Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA. He received the BSc and MSc degrees in electrical engineering from MIT in 1982 and 1984, respectively, and his PhD in 1994 from the University of California, Berkeley. His research interests include microelectromechanical systems (MEMS) modeling, simulation and synthesis, integration of MEMS and CMOS, microsensor design, microactuator control systems, and probe-based nanofabrication technologies.
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