Ionenimplantation

"Ionenimplantation" von Ingolf Ruge ist ein umfassendes Fachbuch, das sich mit der Technologie und den Anwendungen der Ionenimplantation in der Halbleiterherstellung befasst. Das Buch bietet eine detaillierte Einführung in die physikalischen Grundlagen dieses Prozesses, bei dem Ionen in ein festes Material eingebracht werden, um dessen physikalische und chemische Eigenschaften zu verändern. Ruge beschreibt die verschiedenen Arten von Ionenquellen und -beschleunigern sowie die Mechanismen der Wechselwirkung zwischen den implantierten Ionen und dem Wirtsmaterial. Ein Schwerpunkt liegt auf den technologischen Aspekten und den praktischen Anwendungen der Ionenimplantation, insbesondere in der Mikroelektronik zur Herstellung von Halbleiterbauelementen wie Transistoren und integrierten Schaltungen. Das Buch behandelt auch die Herausforderungen und Lösungen im Bereich der Dosissteuerung, Tiefenprofilierung und Defektbildung während des Implantationsprozesses. Darüber hinaus werden moderne Entwicklungen und innovative Ansätze diskutiert, um die Effizienz und Präzision dieser Technologie weiter zu verbessern. Insgesamt bietet "Ionenimplantation" von Ingolf Ruge eine tiefgehende Analyse sowohl für Studierende als auch für Fachleute aus Wissenschaft und Industrie, die sich mit Materialwissenschaften, Physik oder Ingenieurwesen beschäftigen.