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- Gebunden
- 408 Seiten
- Erschienen 1994
- Springer
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"Ion Implantation: Basics to Device Fabrication" von Emanuele Rimini ist ein umfassendes Werk, das die fundamentalen Prinzipien und Anwendungen der Ionenimplantation in der Halbleitertechnik behandelt. Das Buch gehört zur Springer...
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