Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen
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Beschreibung
In zunehmendem Maße wird die Verwendungsmöglichkeit vieler technischer Produkte durch die Eigenschaften ihrer Oberflächen bestimmt. Darüber hinaus werden durch ge eignete Kombination von Volumen-und Oberflächeneigenschaften neue technologische Anwendungen geschaffen. Dabei kommt der Verwendung dünner Schichten in vielen Industriebereichen eine immer größer werdende Bedeutung zu. Beispielsweise läßt sich die Lebensdauer von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergrößern. Die Korrosionsbeständigkeit metallischer Produkte kann in vielen Bereichen der metallverarbeitenden Industrie durch die Ver wendung dünner Passivierungsschichten erhöht werden. Die Miniaturisierung von in tegrierten Schaltungen wäre ohne die Entwicklung der Dünnschichttechnologie nicht vorstellbar. Mit aus dünnen Schichten aufgebauten Beschichtungen lassen sich die Reflexions-oder Transmissionseigenschaften optischer Bauelemente gezielt beeinflus sen. Die Verwendung solcher Schichtsysteme setzt dabei nicht nur eine detaillierte Kenntnis der neu entstandenen Oberflächen und Grenzflächen sowie der Zusammen setzung und Struktur aufgebrachter Schichten, die sich je nach Herstellungsverfahren deutlich von denen der kompakten Materialien unterscheiden können, voraus. Es muß ferner ihre Herstellung oder gezielte Modifikation in jedem Schritt kontrollierbar sein, um Probleme wie mangelnde Haftung, Konzentrationsabweichungen oder Kontamina tionen zu vermeiden. von Lipinsky, Dieter
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Über den Autor
- Gebunden
- 320 Seiten
- Erschienen 2018
- Springer
- Gebunden
- 427 Seiten
- Erschienen 2006
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 378 Seiten
- Erschienen 2009
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 386 Seiten
- Erschienen 2022
- Wiley-VCH
- hardcover
- 590 Seiten
- Erschienen 2005
- Springer
- Gebunden
- 483 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- paperback
- 644 Seiten
- Erschienen 2013
- Academic Press
- hardcover
- 256 Seiten
- Erschienen 2024
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 529 Seiten
- Erschienen 2012
- Wiley-VCH
- paperback
- 680 Seiten
- Erschienen 2010
- Wiley-VCH
- hardcover
- 288 Seiten
- Erschienen 2015
- Wiley
- hardcover
- 568 Seiten
- Erschienen 1999
- Wiley
- Gebunden
- 863 Seiten
- Erschienen 2006
- Springer
- Kartoniert
- 278 Seiten
- Erschienen 2002
- Springer
- hardcover
- 336 Seiten
- Erschienen 1995
- Springer




