
Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen
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Beschreibung
In zunehmendem Maße wird die Verwendungsmöglichkeit vieler technischer Produkte durch die Eigenschaften ihrer Oberflächen bestimmt. Darüber hinaus werden durch ge eignete Kombination von Volumen-und Oberflächeneigenschaften neue technologische Anwendungen geschaffen. Dabei kommt der Verwendung dünner Schichten in vielen Industriebereichen eine immer größer werdende Bedeutung zu. Beispielsweise läßt sich die Lebensdauer von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergrößern. Die Korrosionsbeständigkeit metallischer Produkte kann in vielen Bereichen der metallverarbeitenden Industrie durch die Ver wendung dünner Passivierungsschichten erhöht werden. Die Miniaturisierung von in tegrierten Schaltungen wäre ohne die Entwicklung der Dünnschichttechnologie nicht vorstellbar. Mit aus dünnen Schichten aufgebauten Beschichtungen lassen sich die Reflexions-oder Transmissionseigenschaften optischer Bauelemente gezielt beeinflus sen. Die Verwendung solcher Schichtsysteme setzt dabei nicht nur eine detaillierte Kenntnis der neu entstandenen Oberflächen und Grenzflächen sowie der Zusammen setzung und Struktur aufgebrachter Schichten, die sich je nach Herstellungsverfahren deutlich von denen der kompakten Materialien unterscheiden können, voraus. Es muß ferner ihre Herstellung oder gezielte Modifikation in jedem Schritt kontrollierbar sein, um Probleme wie mangelnde Haftung, Konzentrationsabweichungen oder Kontamina tionen zu vermeiden. von Lipinsky, Dieter
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Über den Autor
- Gebunden
- 421 Seiten
- Erschienen 2021
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 512 Seiten
- Erschienen 2023
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 317 Seiten
- Erschienen 2009
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 378 Seiten
- Erschienen 2009
- Wiley-VCH
- hardcover
- 267 Seiten
- Erschienen 2000
- Wiley-VCH Verlag GmbH & Co....
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- 386 Seiten
- Erschienen 2022
- Wiley-VCH
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- 590 Seiten
- Erschienen 2005
- Springer
- Gebunden
- 326 Seiten
- Erschienen 2007
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- Gebunden
- 483 Seiten
- Erschienen 2011
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 352 Seiten
- Erschienen 2011
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- Erschienen 2010
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- 863 Seiten
- Erschienen 1991
- Wiley-VCH
- Gebunden
- 529 Seiten
- Erschienen 2012
- Wiley-VCH
- paperback
- 493 Seiten
- Erschienen 2005
- Dover Pubn Inc
- Kartoniert
- 436 Seiten
- Erschienen 2014
- De Gruyter