Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation (Springer Series in Materials Science, Band 62)
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Beschreibung
"Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation" von Helmut Sitter ist ein umfassendes Werk, das sich mit den grundlegenden physikalischen Prinzipien und der praktischen Umsetzung der Epitaxie beschäftigt. Epitaxie ist eine Technik zur Herstellung von dünnen Kristallschichten auf einem Substrat, die in der Halbleiterindustrie und Materialwissenschaft entscheidend ist. Das Buch bietet einen detaillierten Überblick über die verschiedenen Methoden der Epitaxie, einschließlich Molekularstrahlepitaxie (MBE) und metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD). Es behandelt die physikalischen Grundlagen dieser Prozesse sowie die technischen Herausforderungen und Lösungen bei ihrer Implementierung. Darüber hinaus werden Anwendungen in der Entwicklung moderner elektronischer und optoelektronischer Bauelemente diskutiert. Das Buch richtet sich an Wissenschaftler, Ingenieure und Studenten im Bereich der Materialwissenschaften und Halbleitertechnologie.
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