Design for Manufacturability with Advanced Lithography
Kurzinformation
Sprache:
Englisch
ISBN:
3319203843
Verlag:
Seitenzahl:
164
Auflage:
-
Erschienen:
2015-11-23
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Beschreibung
Design for Manufacturability with Advanced Lithography
This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL). The authors describe in detail a set of algorithms/methodologies to resolve issues in modern design for manufacturability problems with advanced lithography. Unlike books that discuss DFM from the product level or physical manufacturing level, this book describes DFM solutions from a circuit design level, such that most of the critical problems can be formulated and solved through combinatorial algorithms. von Pan, David Z
Produktdetails
Einband:
Gebunden
Seitenzahl:
164
Erschienen:
2015-11-23
Sprache:
Englisch
EAN:
9783319203843
ISBN:
3319203843
Verlag:
Gewicht:
436 g
Auflage:
-
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